平成１3年度に購入した機器をご紹介します．その２        

１．非接触３次元測定装置・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・平成１３年度 中小企業技術開発産学官連携促進事業

1．非接触３次元測定装置　（形式：NH-3N，三鷹光器（株））

【 装置概要 】

　非接触式のレーザープローブを用い、被測定物の形状・寸法を測定評価する装置です。
レーザーのスポットは直径2μm（対物レンズ100倍時)と非常に小さく、これをプローブとして表面を探り，幅，高さ等の寸法測定を自動的に行います。
非接触且つ微小なプローブを用いることにより、被測定物に傷をつけることなく、数μm程度の凹凸を非破壊で高精度に測定することが可能です。

【 仕　様 】

・測定範囲（mm)：X150，Y150，Z100
・測定精度：XY（1+5L/150）μm，Z（1+5L/100）μm
・分解能：XYZ　0.1μm