設備名	マニュアル画像顕微鏡システム
型式	ＭＭ-40／Ｌ3ＦＡ
メーカ	（株）ニコン
分類	計測用
用途	ガラステーブル上に置いた被測定物（金属加工部品，精密部品，半導体部品，治工具等）に，透過照明もしくは落射照明を当て，その拡大実像を顕微鏡視野またはモニタ上で観察し，長さ，角度および面積などの測定を行います．
特徴	測定精度Ｘ，Y軸（3+L／50）μmを保証し，被測定物の輪郭形状や寸法，あるいは表面の観察を精度よく行えます． 　さらに，平面測定に加え，Z軸にフォーカミング機能（焦点合せ）を内蔵することにより精密な高さ（段差）測定も可能です．
仕様	測定範囲　：　X150mm，Y100mm，Z150mm 測定精度　：　X，Y：3+L／50μm 照　　明　：　ハロゲンランプによる透過および落射照明 鏡　　筒　：　正立三眼鏡筒 対物レンズ：　1×，3×，5×，10×，20× 接眼レンズ：　10× 計測項目　：　図形入力，カウント，線長，面積，2点距離，垂線長， 　　　　　　　角度，弧半径，円直径，円間距離，多垂線長
担当	機械技術 TEL:088(635)7905
担当者	日開野 輔  平岡 忠志
設置場所	産業技術共同研究センター3F分析・測定室
設置年度	1999 (平成11) 年度
写真
備考
その他

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