１.自動スクラッチ試験機 ・・・・・・・（平成10年度 日本自転車振興会補助）
２.表面形状・粗さ測定機 ・・・・・・・（平成10年度 日本自転車振興会補助）
３.走査型電子顕微鏡 ・・・・・・・（電力移出県等交付金事業）
４.倒立型顕微鏡システム ・・・・・・・（フードシステム高度化対策事業）
５.遠心式薄膜真空蒸発装置 ・・・・・・・（広域共同研究事業）
６.固液分離装置 ・・・・・・・（広域共同研究事業）
７.デュポン式落下衝撃試験機・・・・・・・（電力移出県等交付金事業）
８.加圧型細胞破壊装置 ・・・・・・・（国際技術創造研究事業）
９.真空フライヤー ・・・・・・・（広域共同研究）
１０.小スポット赤外放射温度計・・・・・・・（研究者養成型共同研究事業）
１１.ディジタルマルチメータ ・・・・・・・（電力移出県等交付金事業）
１２.スペクトラムアナライザ ・・・・・・・（電力移出県等交付金事業）
１３.バイオリアクター ・・・・・・・（国際技術創造研究事業）
平成１０年度設置機器（その２）へ
各種基板上の硬質薄膜をダイヤモンド圧子により荷重を一定または徐々に荷重を増加さ せながらスクラッチし，皮膜内部または基材との界面で剥離や破壊が起こるときに発生す
る音波を，AE（アコースティックエミッション）センサーで検知し剥離の起き始める荷重 を臨界過重(クリティカルロード)として硬質薄膜の密着力及び強度を定量的に評価する装
置です．
また，本装置には，スクラッチ中のダイヤモンド圧子と基板／薄膜の摩擦力をモニター する機能も付いており，皮膜の破壊によって生じる圧子と皮膜／基材との摩擦力の変化に
よる臨界過重も測定できます．
データーは，リアルタイムで，垂直荷重―AE強度のグラフ及び垂直荷重―摩擦力のグラ フとしてパソコンディスプレーに出力，プリンター出力，ハードディスクなどへのデータ
保存ができ，AEによるによる臨界過重（Lc AE）及び摩擦力による臨界過重（Lc AE）が 決定できます．
(REVETEST ナノテック株式会社)
【 装置の仕様 】
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項 目
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仕 様
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負荷部
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負荷方式
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DCモーターと圧縮ばねとロードセルによる
クローズドループ制御
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負荷荷重
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MAX.200N(20.4kgf)
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負荷速度
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40～400N/min (標準100N/min)
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検出部
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垂直荷重
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高密度ロードセル ダイナミック分解能 <1%FS
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ＡＥ
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共振型AEトランスジューサー 感度可変
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摩擦力
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高剛性バネアーム+差動トランス
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試料テーブル
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スクラッチ速度
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4～40mm/min(標準10mm/min)
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最大スクラッチ長さ
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22mm
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本装置は軸受や金型、治工具等の曲面を有する精密機械部品の寸法、形状精度及び表面粗さの 測定に使用します。
被測定物の外形表面を真直度精度の高いトラバースユニットに案内される先端半径が２μｍの ダイヤモンド触針でなぞり、その動きをレーザ干渉計を用いた検出機構によって、表面形状と表
面粗さの拡大データが得られます。
最大の特徴はＺ方向に高分解能（13nm）を保ちながら、かつ、測定範囲（10mm）が大きく取れ ることです。これまで、３次元形状をした小物精密部品の表面粗さや寸法、形状の測定には、別
々の測定機を用いていましたが、本装置では、１回の測定で、形状と表面粗さの両者を測定する ことができます。つまり、形状に埋没された微細凹凸の状態を測定することできます。
また、Ｙ軸ステージを装備しているので、２次元データのスキャンニングによって３次元粗さ の評価や３次元イメージでの評価も行えるようになっています。
（テーラーホブソン㈱）
【 装置の仕様 】
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項 目
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仕 様
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測定範囲
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Ｘ軸方向：120mm Ｚ軸方向：10mm 曲率半径：0.1～9,999mm
追従角度：登り55゜、下り70゜ 測定可能高さ：450mm
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分解能
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Ｚ軸方向：13nm Ｘ軸方向：0.25μm
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測定速度
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0.5mm/s、1.0mm/s
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検出方式
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位相格子干渉ゲージ方式（半導体レーザ使用）
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スタイラス
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2μmRダイヤモンド（測定圧：0.7～1.0mN)
0.5mmRサファイアボール（測低圧：15～20mN)
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測定操作サポート機能
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自動傾斜補正機能
測定面への自動位置決め停止機能
プログラムによる自動測定
自動キャリブレーション機能
ジョイスティックによる位置決め機能
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３次元測定機能
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３次元測定用Ｙ軸テーブル(移動範囲：50mm)
３次元解析ソフト（タリマップ）
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電子線（エネルギビーム）を試料に照射すると、そのエネルギの大部分は熱エネルギとして 試料外に放出されるが、入射電子の一部は試料表面近くで反射され、弾性的あるいは非弾性的
に試料外に散乱される。
試料中に拡散した入射電子は、試料中の原子と衝突を繰り返し、二次電子やエネルギの異な る電磁波（X線、紫外線、可視光線、赤外線等）を励起する。
走査型電子顕微鏡は、電子銃から非常に小さく絞った（数Å～数十Å）電子ビームを照射し、 走査コイルを利用して試料表面上を順次走査する。
電子ビームで照射された試料部から放出した二次電子を検出し、走査に同期させて画像表示 部に表示する。
このようにして得られる二次電子には次のような特徴がある。
①二次電子は低加速電圧、低電流でも発生収集効率が高いため、電子線照射に対して弱い試料（生物試料や有機物の表面観察）にも適している。
②焦点深度を大きくとることができるので、凸凹のはなはだしい試料（材料破面や微小生物）を立体的に観察することが可能である。
③空間分解能が高く、ほとんど入射電子の系に等しい分解能が得られるので、高倍率で試料表面の微細な構造の観察が可能である。
④試料表面の微弱な電位変化を検出することが可能であるので、トランジスタや集積回路などの動作状態や欠陥を調べることが可能である。
（S-4300形電界放出形走査電子顕微鏡 日立製作所）
【 装置の仕様 】
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項 目
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仕 様
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電子銃
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冷陰極電界放射形電子銃
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加速電圧
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0.5kV～30ｋV（0.1kVステップ）
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分解能
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1.5nm（加速電圧15kV WD=5mm）5.0nm（加速電圧1kV WD=5mm）
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倍 率
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x20～x500,000
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試料微動装置
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X移動：0～25mm（連続）Y移動：0～25mm（連続）Z移動：5～30mm（連続）
傾斜：-5°～+45°回転：360度（連続）試料サイズ：最大102Φ
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画像表示
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観察用モニター：17インチ 写真撮影用：超高分解能形（有効視野120x90mm）
データ表示 加速電圧、倍率、ミクロンマーカ、ミクロン値、フィルム
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画像メモリ
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表示用：640x480x16bit 高精細：1280x960x8bit 超高精細：2560x1920x8bit
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自動化機能
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オートブライトネス/コントラスト オートフォーカス オートスティグマ
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排気系
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電子銃部：イオンポンプ（1x10-7Pa）
試料室：油回転ポンプ＋油拡散ポンプ（1x10-4Pa）
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補助記憶装置
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640M-MO
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補助出力装置
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ビデオプリンタ（A6)
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【 装置の仕様 】
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遠心式薄膜真空蒸発装置「エバポール」は、ドイツの技術者Vaclav Feresが考案したユニークな 機構の蒸発・濃縮装置で、原液を減圧下で遠心力を利用した薄膜形成により、蒸発・濃縮操作の適
用範囲をこれまで処理が困難とされていた領域まで大幅に拡大しました。
本装置は以下に挙げる特長を持ちます。
１）総括伝熱係数が大きく、滞留時間が短い。
２）沸騰による発泡がほとんどない。
３）高濃度の濃縮液が得られる。
４）残留液量が少ない。
５）操作中蒸発面の状況が観察できる。
６）洗浄・殺菌が容易である。
用途としては、各種エキス（肉類、魚類、野菜類等）、調味料、酵素、漢方薬生薬エキス、油脂 等熱感受性の強い液体の濃縮、蒸留、脱臭等に適しています。
（本体エバポール・ラボ (株)大川原製作所）
【 装置の仕様 】
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項 目
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仕 様
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熱 源
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飽和蒸気
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処 理 量
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水蒸発の場合、３５ｋｇ／ｈ（加熱温度１００℃、蒸発温度４０℃
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温度調整範囲
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加熱温度４０℃～１００℃、蒸発温度４０℃～１００℃
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真 空 度
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最大３５torr（４．６５KPa）
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操作仕様
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手動運転
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本装置は、試料供給装置を組み合わせたスラッジの自動排出式分離板型遠心分離機です。
遠心機本体は、回転筒内部に広い分離面積を形成させるために、コニカル状のディスクを多数積み 重ねた上、回転筒を高速回転させて強力な遠心力場により固液等の分離を連続的に行います。
分離した液は、内蔵された求心ポンプ（コレクター）を介し、吐出配管に流出させます。このとき、 液の比重によっても分離が可能です。
一方、回転筒内部のスラッジルームに沈殿堆積した固形分（スラッジ）は、回転筒が全速回転中に 間歇的に回転筒を開口させ、スラッジキャッチャーへ排出させます。このスラッジ排出のための回転
筒の開閉は、自動または手動とし、作動水の供給、停止によって短時間に遂行されます。
本装置は以下に挙げる特長を持ちます。
１）用途に応じ固－液、液－液－固の分離機能を有します。
２）高速回転により最大16,000Ｇの遠心効果が得られます。
３）インバーター駆動により可変速が可能です。
４）CIPクリーニング対応となっています。
用途としては、飲料、乳業、油脂等食品及び化学工業における固－液または液－液－固の分離に適 しています。
（ADS－250L－P型 斎藤遠心機工業(株)）
【 装置の仕様 】
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項 目
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仕 様
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最大通液量
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３００ｌ／ｈｒ（処理液の性状及び運転条件により異なる）
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スラッジスペース
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約０．３ｌ
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回転筒回転数
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１０，０００ｒ.ｐ.ｍ.
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接液部材質
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SUS－３１６または３０４
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試料供給装置
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原液タンク（５０ｌ、ステンレス製）、サニタリーポンプ
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この装置は，先端に一定の丸みを有する撃芯とその丸みに合致するくぼみを有する撃芯受け台との 間に試料をおいて，一定の高さよりウェイトを落下させて撃芯の試料面に与える痕跡によって試料
の硬度や，塗膜のはくりを調べるものです．
（Ｎｏ.５１７ (株)安田精機製作所）
【 装置の仕様 】
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項 目
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仕 様
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落下高さ
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５０～５００mm（５０mm間隔）
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落下ウェイト
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３００ｇ，５００ｇ，１ｋｇ
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撃 芯
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先端はスチールボール（HRC４５°）埋め込み，全長１００mm
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撃芯径
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Ｒ１／１６”（半径１．５８mm） Ｒ１／８” （半径３．１７mm）
Ｒ３／１６”（半径４．７６mm） Ｒ１／４” （半径６．３４mm）
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受台寸法
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φ５０×高さ５０mm
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フレンチプレス式の圧力型細胞破壊機で，原理と使用方法は以下のとおりです．
金属製の耐圧シリンダーの下方に細いアウトレットバルブを設け，シリンダー内にサンプルを つめた後，上方よりピストンロッドを挿入し，電動プレスで圧力（最大40,000psi）をかけます．
この加圧状態のままアウトレットバルブを徐々に開くとシリンダー内のサンプルは，細いバル ブを通り少しずつ外部に圧出されます．この時，細胞は高圧条件下から急激に大気圧に戻されるた
め破裂します．
本装置の特徴は，自動圧コントロールにより高い再現性が得られ，0～40,000psiまでの破壊圧 力の設定が自由にできることです．
また，処理容量，使用目的によって微量用（1.4～3.7ml，最大20,000psi），標準型（５～35ml， 最大20,000psi）および高圧型（５～35ml，最大40,000psi）の３種類のセルが選択できます．
多量のサンプルの処理や繰り返し処理を行う場合には専用のラピッドファイルキットを使用する ことで破壊セルを電動油圧プレスにセットしたまま繰り返し操作も可能です．
具体的には，酵母・バクテリア・動植物細胞の破壊，細胞抽出物や酵素などの分離・精製，細胞 内蛋白や核酸の回収，各種細胞器官の分離および微生物の回収のための食品の破壊などに応用できます．
（電動ラボラトリープレスＦＡ－０７８ スペクトロニック社）
【 装置の仕様 】
本体－電動油圧プレス
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項 目
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仕 様
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加圧能力
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０～40,000psi可変
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寸 法
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幅46.4cm×奥行46.4cm×高さ87.6cm
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重 量
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１０９kg
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電 源
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100Ｖ，50/60Ｈｚ，10Ａ
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破壊セル－20,000psiあるいは40,000psiマニュアルセル
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項 目
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仕 様
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加圧範囲
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０～20,000psiあるいは40,000psi
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処理容量
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５～35ml
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ピストン直径
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約2.5cm
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寸 法
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7.6×28.9cm
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破壊セル－20,000psiミニチュアセル
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項 目
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仕 様
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加圧範囲
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０～20,000psi
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処理容量
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1.4～3.7ml
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ピストン直径
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約0.95cm
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寸 法
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6.0×15.6cm
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本装置は，バッチ式で真空油ちょうを行うための試験装置で，真空フライヤー本体，コンデン サー及び真空ポンプ等の機器で構成されています．
油ちょう操作は，原料をフライヤー内部の網かごに入れ，高真空下で間欠的に上下振動すること により，原料の付着と均一化を図り，低温での油ちょう製品が製造可能です（特許）．
また，本試験機から本格的な製造ラインへのスケールアップも可能です．
本装置は以下に挙げる特長を持ちます．
１）減圧下での油ちょうのため，比較的低温（１００℃程度）で油ちょう可能．
２）油ちょう時に試料の均一化と油切りが素早くできる．
３）油温履歴の測定が可能です．
用途としては，広範囲な食材を油ちょうすることが可能．特に，従来の高温油ちょう方式にはな い色調保持，食感を得ることが可能です．
（本体BT-1C型 (株)佐久間製作所製）
【 装置の仕様 】
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項 目
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仕 様
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フライボックス容量
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２l
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フライヤー本体容量
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16 l
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油 量
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６ｌ
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真空ポンプ最高到達真空度
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0.5Torr
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チラーユニット冷却能力
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4000 kcal/hr
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熱 源
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手動式ガスバーナー
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温度指示記録装置
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シース形温度センサ，ハイブリッド記録計
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この装置は，物体から放射される赤外線を測定し温度として表示します．
離れたところから非接触で温度を測定できるので，被測定個所に触れられない場合でも表面温度を 測定できます．
また，データロガーと組み合わせてあるため，温度を連続的に計測・記録できます．
（IR-BT2，IR-GBO (株)チノー，THERMODAC－E 江藤電気(株) ）
【 装置の仕様 】
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項 目
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仕 様
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測定方式
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広帯域放射温度計
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検出素子
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サーモパイル
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測定波長
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８～１３μm
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測定範囲
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０～３００℃
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精度定格
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±３℃
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温度ドリフト
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±０．２℃／℃
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分解能
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０．５℃
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応答時間
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１．０秒以下
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光学系
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ＢａＦ２レンズ
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測定径
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φ ５ at ８０mm
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照 準
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LEDスポットマーカー付
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ディジタルマルチメータは，電圧，電流，抵抗などの電気的な基本量を計測するための測定器で， 電子機器の設計製作や，デバイス，素材などの性能評価，環境試験やエージング試験による信頼性
の評価などに使用します．
また，電子機器の内部や表面，デバイスの表面などの温度計測も可能です．
（HP34420A＋HP34401A ＨＰ社製）
【 装置の仕様 】
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項 目
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仕 様
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直流電圧測定
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１ｎＶ～１０００Ｖ
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直流電流測定
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１０ｎＡ～３Ａ
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抵抗測定
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０．１μΩ～１００ＭΩ
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温度測定
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－５０℃～＋２６０℃
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スペクトラムアナライザは，電気信号の周波数成分を調べてそのレベルを測定する装置で， 電子回路の設計，デバッグ，ＥＭＩのノイズ対策などに使用します．
電子回路中を流れる電気信号は，電子回路により様々な加工を受けながら伝達します．
例えば増幅器は，微少な電気信号を処理しやすいように増幅し，フィルタ回路は，電気信 号の不要な部分を除去します．
通常この電気信号は，オシロスコープを用いて時間ドメイン（横軸：時間軸，縦軸：レベル） の観測を行いますが，それだけでは不十分です．
例えば，増幅器はどの周波数をどれくらい増幅するのか，フィルタ回路はどの周波数をどれ くらい除去するのか，周波数に関する情報を知る必要があります．
この電気信号の周波数による情報を観測するものがスペクトラムアナライザで，電気信号に 含まれる周波数成分を周波数ドメイン（横軸：周波数，縦軸：レベル）で高い周波数まで観測
することができます．
（Ｒ３１３２ (株)アドバンテスト）
【 装置の仕様 】
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項 目
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仕 様
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測定周波数
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９kHz～3GHz
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トラッキングジェネレータ
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９kHz～3GHz
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最小分解能帯域幅
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３０Hz
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振幅測定精度
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±１．５ｄＢ以内
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平均ノイズレベル(1MHz～1.5GHz)
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－１３０ｄＢｍ以下
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ダイナミックレンジ
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８０ｄＢ以上
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ＥＭＩフィルタ
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１ＭＨｚ，120kHz，9kHz
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外部記憶装置
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フロッピーディスクドライブ
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一般的にバイオリアクターとは，常温，常圧で特異性の高い反応を効率よく行うことができる 生体触媒の酵素を利用した反応器，または複雑な酵素反応系あるいは細胞そのものを利用する反
応器のことですが，特に，本装置は微生物の培養の他，動植物細胞の培養や各種酵素反応等を最 も効率よく行うための条件設定を試験するのに適した仕様になっています．
培養（反応）槽が３連式となっているため，独立して撹拌速度や温度が設定できるほか，各槽 に付属するｐＨコントローラー，FORMコントローラーおよび流加コントローラーによる制御が可
能であり，同時に異なった運転条件における試験データの収集が可能です．
また，槽容量が２Ｌと多連型のバイオリアクターとしては大きく，スケールアップを考慮した 試験ができます．
さらに本装置の特徴として，培養槽の底にタービンポンプを装備し，槽内を強制撹拌する完全 混合型であり，酸素供給量の目安となるＫＬa＝３０００／ｈという大きな物質移動容量が得られ，
固定化担体を使用する場合には支持網で吸着・保持されるため衝突ストレスやタービンによる剪 断がありません．
（２Ｌ３槽式バイオリアクターＴＢＲ－２－３ 千代田製作所）
【 装置の仕様 】
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項 目
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仕 様
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基本構造
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ポンプ内蔵式，担体支持吸着型，混合槽型
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槽容量
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２Ｌ（３連式）
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温度調節
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マイコン制御
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温度範囲
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冷却水温＋５～７０℃
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撹拌方式
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タービン，マグネット（脱調時自動復帰機構付）
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撹拌調節範囲
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５０～１０００ｒｐｍ
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通気量
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０．３～３．０Ｌ／ｍｉｎ
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ｐＨ制御
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２液式ｐＨコントローラー（ｐＨ２．２～１２．０）
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消泡機構
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化学方式消泡コントローラー（０～９感度調節）
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記録計
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６打点レコーダー
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からの補助金が使われています。