エネルギー分散型微小部分析装置

【機器概要】 　エネルギー分散型微小部分析装置は、主に反射電子、二次電子、特性Ｘ線を利用して、試料の微小部の元素分析と観察を行う機器である。全ての製造業において問題となる微小異物混入に対し、元素分析及び観察を行うことにより発生原因を明らかにすることができ、製造工程における信頼性向上に資することができる。

日本電子製JSM-6010LA,JED2300F

【事業目的及び内容】 　近年、県内機械金属関連企業において、「安全・安心」を求める消費者ニーズの高まりにともない、最終製品および中間製品中の異物混入が大きな問題となっている。大きな異物は目視検査や金属探知機等で除外することが可能であるが、微小異物は困難でありクレームの対象となるため、微小異物混入の発生原因の解明が求められる。また、製造部品の小型化・高集積化が進行しており、製品開発・製造現場においては、微小部の各種評価が重要なファクターとなっている。 　そこで、本事業では、微小領域を分析する機器を整備することで、異物の解明と発生過程を明確にし、品質管理体制の強化を図るとともに、微小部の評価による高品質化や新規製品の開発を支援する。

【事業実施効果】 　微小異物混入の発生原因を明らかにする他、めっき厚・半田の濡れ性評価等に用いることができる。特に、微小異物混入については、コンスタントに相談が寄せられ、地域中小企業から支援要望の大きい分野であり、今後当機器を用いることで、更なる支援が可能となる。