仕様
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測定範囲：X軸方向（120mm），Z軸方向（10mm），曲率半径（0.1～9，999mm），追従確度（登り55゜，下り70゜，測定可能高さ（450mm）分解能：Z軸方向（13nm），X軸方向（0.25μm），測定速度（0.5mm/s，1.0ッm/s)，検出方式（位相格子干渉ゲ－ジ方式），スタイラス（2μmRダイヤモンド，0.5mmrサファイアボ－ル）
測定操作サポ－ト機能：自動傾斜補正機能，測定面への自動位置決め停止機能，プログラムによる自動測定，自動キャリブレ－ション機能，ジョイスティックによる位置決め機能，３次元測定機能.
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