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備品の詳細

設備名
非接触3次元測定装置
型式
NH-3N
メーカ
三鷹光器(株)
分類
計測用
用途
測定対象の形状,寸法,粗さ測定など.
特徴
本装置は非接触式のレーザプローブを用い,被測定物の形状・寸法を評価する装置です.レーザ光のスポットは直径2μm(対物レンズ100倍時)と非常に小さく,これをプローブとして表面を探り,幅,高さ等の寸法測定を自動で行います.非接触且つ微小なプローブを用いることにより,被測定物に傷をつけることなく,数μm程度の凹凸を高精度に測定することが可能です.
仕様
測定範囲mm:XY150,Z100
測定精度 :XY(1+5L/150)μm,Z(1+5L/100)μm
分解能  :XY0.1μm,Z0.01μm
担当
機械技術 TEL:088(635)7905
担当者
小川 仁  日開野 輔
設置場所
精密測定室3
設置年度
2001 (平成13) 年度
写真
備考 中小企業技術開発産学官連携促進事業
その他


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        企画総務担当  TEL:088-635-7900  FAX:088-669-4755  E-mail: