設備名	三次元測定機
型式	XYZAX　RA1600A－61X
メーカ	（株）東京精密
分類	計測用
用途	サーボモータで数値駆動される門型直交XYZテーブル構造を持ち，Z軸先端の接触式プローブにより，被測定物の形状・寸法を三次元座標値で測定評価する装置です．
特徴	サーボモータで数値駆動される門型直交XYZテーブル構造を持ち，Z軸先端の接触式プローブにより，被測定物の形状・寸法を三次元座標値で測定評価する装置です．任意形状の測定物の外形輪郭，穴径，穴位置など形状に関する全ての位置関係を，同一座標系で数μm以内の精度で測定するために用います． コンピュータ制御であり，ティーチング・プレイバックにより，高能率な自動測定ができます．また，金型などの持つ自由曲面の測定・評価も行います． ・全輪にセラミックリニアガイドと空気静圧軸受を用い，機械的摩擦部　分が無いため，測定精度が経年劣化しません． ・高精度のタッチプローブ（寸法，形状測定）とならいプローブ（曲面測定），心出し顕微鏡（プリント基板等の直接接触できない被測定物）などにより，幅広い分野の測定が行えます． ・ネットワークに接続され，CAD／CAMシステムやNC工作機械とデータが相互利用できます．
仕様	●本　体 　・型　式　：　XYZAX　RA1600A-61X 　・測定ストローク［mm］：　X：800，　Y：1600，　Z：600 　・保証精度U3［μm］　：　3．0＋3L／1000　≦　4．5 　・最小表示量［mm］　　：　0．0001 ●データ処理装置 　・型　式　：　XYANA　61N 　・ＣＰＵ　：　i80486DX2（クロック66MHz） 　・メインメモリ　　　：　16MB 　・ハードディスク容量：　320MB 　・フロッピドライブ　：　3.5インチ（1.44MB），1ドライブ 　・プリンター　：　漢字グラフィックカラープリンタ， 　　　　　　　　　　ドットマトリックス 　・ディスプレイ：　17インチカラーCRT， 　　　　　　　　　　解像度1024x768 　・XYプロッタ　：　OS／2，ver2．1 ●本体まわりオプション 　・エアドライヤー 　・心出し顕微鏡　：　20倍 　・セラミック製ボール原点ブロック（直径φ1インチ， 　　真球度0．5μm以下），タッチトリガプローブシステム 　　（レニショー（株）） 　・モータプローブヘッド（PH10M） 　　旋回角度：水平±180°，垂直0～105° 　・プローブ（TP7M） 　　測定力0．02N，測定方向6方向， 　　繰り返し動作精度0．13［μm］ 　・エクステンションバー　50mm，100mm，200mm 　・スタイラス 　　　　φ1，2，3，4，8、30mmボール，φ63．5mmディスク 　　　　φ2mm十字 　・スキャニングプローブ（SS5C） 　　　　測定方向6，測定力37～５gf，指示精度±5［μm］， 　　　　クランプ：各軸独立 　・フィーラセット（C3） ●オプション測定・評価ソフトウェア 　・汎用測定プログラムGEM（AI機能付） 　・汎用測定オプション　幾何偏差作図プログラム 　・形状測定プログラムCUP 　・形状測定オプション 　　　3次元形状評価プログラム，自動心出しプログラム 　　　（ベストフィット），形状データ外部出力プログラム， 　　　点列データ形状設計値変換プログラム ●ホストコンピュータ用オプション機器・ソフトウェア 　・ネットワーク接続用ボード　：　イーサネットLAN（IEEE802．3） 　　　　　　　　　　　　　　　　　ボード10base5 　・ネットワークソフト：TCP／IP，NFS（OS／2版）
担当	機械技術 TEL:088(635)7905
担当者	平岡 忠志  森本 祐作
設置場所	精密加工実験室
設置年度	1993 (平成5) 年度
写真
備考
その他

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