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備品の詳細

設備名
PVD(物理蒸着)装置
型式
AIP3012型
メーカ
神戸製鋼(株)
分類
実験生産用
用途
材料表面へ薄膜を形成させ,材料特性を向上させます.
特徴
ステンレス製チャンバー(容積:500(W)×430(D)×400(H)),2台のアーク蒸発源,3系統のガスシステム,および一軸回転式ワークテーブルから構成され,真空中で材料表面に薄膜を形成させることが可能です.
仕様
PVD装置

 1.推奨処理空間     : φ200mm×高120mm
 2.ワーク装着空間(最大): φ300mm×高270mm 
 3.搭載ワーク重量    : 20kg
 
プロセスチャンバー : 500(W)×430(D)×400(H)mm
アーク電源  : 最大200A
バイアス電源 : 最大1000V,6A
担当
材料技術 TEL:088(635)7902,088(635)7903
担当者
  
設置場所
疲労試験室
設置年度
1996 (平成8) 年度
写真
備考
その他


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        企画総務担当  TEL:088-635-7900  FAX:088-669-4755  E-mail: