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備品の詳細

設備名
電子線マイクロアナライザ
型式
メーカ
(株)島津製作所
分類
分析
用途
(1)表面観察 :各種工業製品上の異物や析出物の形状観察

(2)定性分析 :各種工業製品上の異物や析出物の元素分析

(3)定量分析 :非破壊による各種鋼材の構成元素の定量分析

(4)マッピング:各種材料における構成元素の広域分布の測定
特徴
 電子銃から放出された電子線を細く絞って試料面上に照射すると,
試料から特性X線,反射電子,二次電子,可視光線等が発生します.
これらの情報から

 (1)どのような形状をしているか(表面観察)

 (2)どのような元素で構成されているか(定性分析)

 (3)構成元素の含有量はいくらか(定量分析)

 (4)どのような化学結合をしているか(状態分析)

を解明します.

(1)エネルギー分散型分光器の使用により,熱的に不安定な試料の分析が
 可能です.

(2)X線取り出し角度が高いため(52.5度),空間分解能が良い.

(3)分光器に人工簿膜結晶を使用することにより,窒素,炭素,酸素を
 感度良く分析することが可能です.

(4)大面積(35mm×35mm)試料の元素分布の測定を高速で行う
 ことが可能です.
仕様
分析元素範囲 : 5B~92U

線分光器
  波長分散型X線分光器    : 4基(8分光結晶)
  エネルギー分散型X線分光基 : 1基

二次電子分解能 : 6nm(60A)
    倍 率 : 20~40000倍
   加速電圧 : 0~30kV
  電流安定度 : ±0.0015/h

(1)本 体

 (光学顕微鏡)
   型 式 : 有孔反射型
   分解能 : 1μm
   倍 率 : 280倍(十字線付き)
 (試料ステージ)
   移動量 : X=35mm,Y=50mm,Z=35mm
   移動ステップ : X=1μm,Y=1μm,Z=2μm
 (波長分散型X線分光基)
   X線取り出し角度 : 52.5度
   ローランド円半径 : 127mm
 (エネルギー分散型X線分光基)
   分析元素  : 11Na~92U
    分解能  : 149eV
 (電子検出器)
   二次電子検出器 : 光電子倍増管
   反射電子検出器 : 半導体型検出器

(2)全自動分析装置

   オペレーティングシステム : WindowsXP
   プログラム ユーザ定義プログラム
         定性分析(含自動高速定性分析)プログラム
         定量分析プログラム
         線分析プログラム
         面分析プログラム
         検量線法プログラム
         状態分析プログラム
         保守・管理プログラム

(3)高速マッピング装置

   画像メモリー : SE,BSE用 8bit,1フレーム
            X線信号用  16bit,6フレーム
    画像解像度 : 水平640x垂直480
   外部メモリー : 追記形光ディスク
担当
材料技術 TEL:088(635)7902,088(635)7903
担当者
  
設置場所
走査電子顕微鏡室
設置年度
1990 (平成2) 年度
写真
備考
その他


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        企画総務担当  TEL:088-635-7900  FAX:088-669-4755  E-mail: