設備名	走査型電子顕微鏡
型式	S-4300形電界放出形走査電子顕微鏡
メーカ	日立製作所
分類	計測用
用途	光学顕微鏡倍率以上での金属組織観察や，破断面，深いエッチング面など焦点深度の深い表面観察などを行う．電導性物質では直接観察を行うが，非電導性固体では一般に炭素，または金の蒸着を行う．粉体は電導フィルム又は銀ペースト等に分散させる． 特に金属破断面の観察により，破壊の原因，メカニズムを調べる，破損分析においては不可欠の装置．
特徴	電子線（エネルギビーム）を試料に照射すると、そのエネルギの大部分は熱エネルギとして 試料外に放出されるが、入射電子の一部は試料表面近くで反射され、弾性的あるいは非弾性的 に試料外に散乱される。 　試料中に拡散した入射電子は、試料中の原子と衝突を繰り返し、二次電子やエネルギの異な る電磁波（X線、紫外線、可視光線、赤外線等）を励起する。 　走査型電子顕微鏡は、電子銃から非常に小さく絞った（数Å～数十Å）電子ビームを照射し、走査コイルを利用して試料表面上を順次走査する。 　電子ビームで照射された試料部から放出した二次電子を検出し、走査に同期させて画像表示部に表示する。 　このようにして得られる二次電子には次のような特徴がある。 ①二次電子は低加速電圧、低電流でも発生収集効率が高いため、電子線照射に対して弱い試料（生物試料や有機物の表面観察）にも適している。 ②焦点深度を大きくとることができるので、凸凹のはなはだしい試料（材料破面や微小生物）を立体的に観察することが可能である。 ③空間分解能が高く、ほとんど入射電子の系に等しい分解能が得られるので、高倍率で試料表面の微細な構造の観察が可能である。 ④試料表面の微弱な電位変化を検出することが可能であるので、トランジスタや集積回路などの動作状態や欠陥を調べることが可能である。
仕様	・電子銃 　　冷陰極電界放射形電子銃 ・加速電圧 　　0.5kV～30ｋV（0.1kVステップ） ・分解能 　　1.5nm（加速電圧15kV　WD=5mm）5.0nm（加速電圧1kV　WD=5mm） ・倍　率 　　x20～x500,000 ・試料微動装置 　　X移動：0～25mm（連続）Y移動：0～25mm（連続）Z移動：5～30mm（連続）　　傾斜：-5°～+45°回転：360度（連続）試料サイズ：最大102Φ ・画像表示 　　観察用モニター：17インチ 　　写真撮影用：超高分解能形（有効視野120x90mm） 　　データ表示　加速電圧、倍率、ミクロンマーカ、ミクロン値、フィルム ・画像メモリ 　　表示用：640x480x16bit 　　高精細：1280x960x8bit 　　超高精細：2560x1920x8bit ・自動化機能 　　 オートブライトネス/コントラスト　オートフォーカス　オートスティグマ ・排気系 　　電子銃部：イオンポンプ（1x10-7Pa） 　　試料室：油回転ポンプ＋油拡散ポンプ（1x10-4Pa） ・補助記憶装置　　 640M-MO ・補助出力装置　　 ビデオプリンタ（A6)
担当	材料技術 TEL:088(635)7902，088(635)7903
担当者
設置場所	走査電子顕微鏡室
設置年度	1998 (平成10) 年度
写真
備考	電力移出県等交付金事業
その他

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