仕様
|
■回転テーブル部
回転精度
半径方向: (0.02+3.2H/10000)μm, H: 測定高さ(mm)
軸方向: (0.02+3.2R/10000)μm, R: 回転中心からの距離(mm)
回転速度: 1～25min-1
テーブル径 φ230mm
自動心出し機能(±5mm)
自動水平出し機能(±1°)
最大積載質量 25kg
最大測定径 φ368mm
■上下動部(Z軸コラム部)
真直度: 0.1μm/100mm (0.15μm/300mm)
回転軸線と上下動の平行度: 0.6μm/300mm
上下移動量: 300mm
最小位置表示: 0.01mm
最大測定高さ: 外径470mm, 内径320mm
測定速度 0.5, 1, 2 mm/sec
移動速度: MAX 20mm/sec
■半径方向移動量
真直度測定精度: 1.0μm/100mm(1.5μm/150mm)
回転軸線と半径方向移動の直角度: 1.5μm/100mm(2.0μm/150mm)
移動量: 160mm
最小位置表示: 0.01mm
測定速度 0.5, 1, 2 mm/sec
移動速度: MAX 20mm/sec
■検出器
測定力: 100mN以内(可変)
可動範囲: 1800μm(bスタイラスアーム使用時)
内外径切換え機構, 姿勢切り替え機能
■アンプ
測定倍率: 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10K, 20K, 50K
カットオフ値(円周系): 15, 50, 150, 500, 15-500山, カットオフ値なし
カットオフ値(真直系): fh0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8.0mm, カットオフ値なし
フィルタの種類: 2CRノーマル形, 2CR位相補償形, ガウシヤン形
判定方法(円周系): LSC(最小二乗中心法), MZC(最小領域中心法), MCC(最小外径円中心法), MIC(最大内接円中心法)
判定方法(真直系): LSL(最小二乗法), MZL(最小領域法)
表示倍率: 10～100K倍, 任意倍率可能
測定項目: 真円度, 円筒度, 同軸度, 同心度, 平面度, 直角度, 真直度, 平行度, 円筒振れ, 面平行度, スパイラル円筒度, 多断面平面度, テーパ同軸度(テーパ角), 偏肉度
補助機能: 部分円(線)測定機能, 直線展開図形表示, 立体図形表示, 自動心出・傾斜機能, 面自動傾斜機能, 多項目自動測定機能, 再演算機能, 部分測定, R・Zオートストップ機能
|