設備名	電子線マイクロアナライザー
型式	JXA-iHP200F
メーカ	日本電子
分類	分析
用途	無機、金属材料の微小部元素分析及び面分析
特徴	ショットキー型FE電子銃と2種のローランド円を有する5ch波長分散型検出器により高分解能かつ高感度な分析が可能です。
仕様	電子銃：ショットキー型FE 二次電子分解能：2.5nm（30kV） 加速電圧：1.0ｋV-30kV 観察倍率：40-300,000倍 X線分光器：波長分散型5ch、エネルギー分散型 試料前処理装置：Arイオンミリング カソードルミネッセンス検出器
担当	機械技術 TEL:088(635)7905
担当者	松原 敏夫  米谷 英治
設置場所	走査電子顕微鏡室
設置年度	2022 (令和4) 年度
写真
備考	令和４年度地方大学・地域産業創生交付金事業
その他

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